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      • 实验室固定式面阻测量仪

      • Suragus面阻测试仪来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线监测具有重要意义。
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      简介


      Suragus面阻测试仪来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线监测具有重要意义。

       

      规格参数


      测量模式:非接触式实时测量

      衬底:foils, glass, wafer等

      平台尺寸:8 inch / 204 x 204 mm(其他规格请联系)

      面阻范围: 0.0001 to 3,000 Ohm/sq

      薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而定)

      设备尺寸:11.4 x 17.5 x 5.5 inch / 290 x 445 x 140 mm@10 Kg

       

       

      功能图解


       

       

       

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